Bộ phận thạch anh

Thạch anh vẫn hiện diện khắp nơi trong quy trình sản xuất chất bán dẫn. Nó không phải là vật liệu mới, nhưng nó đáng tin cậy, và hầu hết các nhà máy sản xuất đều quen thuộc với cách hoạt động của nó. Miễn là độ tinh khiết được kiểm soát, nó hoạt động tốt trong các bước khuếch tán, oxy hóa và làm sạch.

Rất nhiều chi tiết thạch anh được sử dụng trong các hệ thống lò nung hoặc thiết bị PECVD. Yêu cầu chính là sự ổn định — không nhất thiết là tuổi thọ cao, mà là hiệu suất có thể dự đoán được. Điều đó thường là đủ tốt cho nhiều quy trình tiêu chuẩn.

Dĩ nhiên, thạch anh cũng có những hạn chế của nó. Nó có thể bị mài mòn nhanh hơn trong một số điều kiện nhất định, đặc biệt là so với SiC. Nhưng vì nó tương đối dễ tìm và không quá đắt, nên người ta vẫn sử dụng nó khá nhiều.