Gốm sứ SiC

Gốm SiC ngày càng được sử dụng nhiều hơn trong thiết bị bán dẫn, chủ yếu là vì chúng chịu được tốt hơn trong điều kiện khắc nghiệt. Khi nhiệt độ tăng cao hoặc quy trình trở nên khắc nghiệt hơn, các vật liệu như thạch anh hoặc silicon có thể bắt đầu bộc lộ những hạn chế, và đó thường là lúc SiC phát huy tác dụng. Trong các quy trình nung như oxy hóa hoặc khuếch tán, các bộ phận như khay đựng wafer hoặc cánh khuấy làm từ SiC có xu hướng bền hơn. Chúng giữ được hình dạng và không bị nhiễm bẩn nhiều, ngay cả sau thời gian vận hành dài. Vì lý do này, người ta thường chuyển từ thạch anh sang SiC, đặc biệt là khi việc bảo trì trở nên quá thường xuyên.

Đối với quá trình khắc, SiC thường được lựa chọn đơn giản vì nó chịu được plasma lâu hơn. Sự khác biệt về tuổi thọ so với các bộ phận bằng silicon là đáng chú ý trong nhiều cấu hình, mặc dù nó vẫn phụ thuộc vào quy trình cụ thể. Nó cũng giúp kiểm soát hạt tốt hơn, điều này trở nên nhạy cảm hơn khi kích thước nút thu nhỏ. Bạn cũng sẽ thấy SiC được sử dụng làm chất hấp thụ trong MOCVD hoặc CVD. Trong những trường hợp đó, vấn đề không phải là "độ bền" mà là giữ cho nhiệt độ ổn định. Ngoài ra, nó còn xuất hiện trong các bộ phận của buồng như lớp lót hoặc đầu phun, và đôi khi cả trong các bộ phận xử lý.